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경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 신도훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2017-02-21T07:22:28Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-21T07:22:28Z | - |
| dc.date.issued | 2002 | - |
| dc.date.submitted | 2011-05-12 | - |
| dc.identifier.uri | http://repository.kmou.ac.kr/handle/2014.oak/5260 | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국해양대학교 | - |
| dc.title | 경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.citation.title | 대학원논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 103 | - |
| dc.citation.endPage | 103 | - |
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