한국해양대학교

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경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작

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dc.contributor.author 신도훈 -
dc.date.accessioned 2017-02-21T07:22:28Z -
dc.date.available 2017-02-21T07:22:28Z -
dc.date.issued 2002 -
dc.date.submitted 2011-05-12 -
dc.identifier.uri http://repository.kmou.ac.kr/handle/2014.oak/5260 -
dc.language kor -
dc.publisher 한국해양대학교 -
dc.title 경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작 -
dc.type Article -
dc.citation.title 대학원논문집 -
dc.citation.startPage 103 -
dc.citation.endPage 103 -
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기타 > 논문집
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