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Si (111) 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 열처리 효과에 따른 구조적, 광학적 특성 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이주영 | - |
| dc.date.accessioned | 2017-02-22T02:28:03Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-22T02:28:03Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.date.submitted | 2006-03-03 | - |
| dc.identifier.uri | http://kmou.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000002174428 | ko_KR |
| dc.identifier.uri | http://repository.kmou.ac.kr/handle/2014.oak/8450 | - |
| dc.description.abstract | Zinc oxide films were deposited on Si (111) substrates by radio-frequency (rf) sputtering at a room temperature and annealed in H2O, air, N2 ambient at temperatures between 700, 800 and 900 oC for 2 hrs. The effects of thermal annealing on the structural and optical properties of ZnO films were investigated by atomic force microscope (AFM), X-ray diffraction (XRD), photoluminescence (PL), Auger and transmission electron microscopy (TEM). | - |
| dc.description.tableofcontents | Abstract ………………………………………………………… i 1. 서론 ………………·……………………………………… 1 2. 이론적 고찰 ……………………………………………… 5 2.1 ZnO의 특성 …………………………………………… 5 3. 실험 ……………………………………………………… 10 3.1 ZnO 박막의 증착 ………………………………… 10 3.2 증착한 ZnO 박막의 열처리 ……………………… 10 3.3 스퍼터 (Sputter) 증착법 ………………………… 14 3.4 물성 분석 방법 …………………………………… 19 4. 결과 및 고찰 …………………………………………… 28 4.1 열처리 분위기에 따른 특성 변화 ………………… 28 4.2 수증기 분위기에서의 박막의 특성 ………………… 38 4.3 박막 내 산소 농도에 따른 특성 변화 ……………… 48 5. 결론 ……………………………………………………… 58 6. 참고문헌 ………………………………………………… 60 | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국해양대학교 대학원 | - |
| dc.title | Si (111) 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 열처리 효과에 따른 구조적, 광학적 특성 연구 | - |
| dc.title.alternative | The structural and optical properties of thermal annealed ZnO films deposited on Si (111) substrates | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.date.awarded | 2005-02 | - |
| dc.contributor.alternativeName | Ju - Young Lee | - |
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