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최적 경로선정 알고리즘 기반의 300mm WAFER 이송용 OVERHEAD HOIST TRANSPORT 최적 제어관리에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김학선 | - |
| dc.date.accessioned | 2017-02-22T07:07:49Z | - |
| dc.date.available | 2017-02-22T07:07:49Z | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.date.submitted | 56824-11-16 | - |
| dc.identifier.uri | http://kmou.dcollection.net/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000002175975 | ko_KR |
| dc.identifier.uri | http://repository.kmou.ac.kr/handle/2014.oak/10310 | - |
| dc.description.abstract | This paper explain Overhead Hoist Transport, Overhead Hoist Transport Control System and OPC(One-board Programmable Controller). Overhead Hoist Transport is the device that transfer wafer though rail installed on the ceiling. OHT Control System is the system that integrate and control to the best optimal and manage the many OHT. It is used in the factory that produced semiconductor wafer. OHT is operated from an upper group by the transport order to be ordered. Consequently, this paper is designed the module that consist is command entity and operate entity. And Wireless LAN communication and protocol is designed. It is ensured against risks which the minimize could communication error and fail. The experiment observe SEMI Standsed scenario made the OHT for research and was the low to the experiment method to be produced. Therefore, OPC that is made by the design verified the adequacy of a system design. In this paper, All final result developed so that the contentment could order various driving condition and characteristic that contain a semicoductor standard. | - |
| dc.description.tableofcontents | 제 1장 서론 1 1.1 연구배경 1 1.2 연구개요 2 제 2장 300mm 대구경 웨이퍼(wafer) 제조공정과 OHT 3 2.1 웨이퍼(wafer) 제조공정 3 2.2 OCS 개요 4 2.2.1 MCS 인터페이스 모듈 6 2.2.2 GUI 모듈 6 2.2.3 스케쥴링 엔진 모듈 6 2.2.4 OHT 인터페이스 모듈 7 2.3 OHT 개요 7 제 3장 알고리즘 구축 및 구현 10 3.1 최적 이송경로 선정 알고리즘 10 3.1.1 Floyd-Warshall 알고리즘 10 3.2 OHT 주행 레일(rail) 기본구조 12 3.3 알고리즘 구현 13 3.3.1 충돌방지 로직(Logic) 14 3.3.2 충돌방지 해법 16 3.3.2.1 충돌방지 해법에 의한 명령전송(From_OCS To_OHT) 16 3.4 OCS 시뮬레이터 구현 21 제 4장 시스템 구성 및 구현 34 4.1 전체 시스템 구성 34 4.1.1 OCS 시스템 36 4.1.2 OHT의 시스템 37 4.1.3 무선통신 시스템 39 4.2 시스템 구현 상세 구조설계 41 4.2.1 통신 소프트웨어 42 4.2.2 통신 소프트웨어 모듈 동기화 43 4.2.2.1 정규 동기화 43 4.2.2.2 비정규 동기화 47 4.2.2.3 명령 실행 사이클 동기화 48 4.2.3 통신구조 설계 49 4.2.3.1 OCS 및 OHT 시스템 50 4.2.3.2 핸드-터미널(hand-terminal) 시스템 및 OHT 시스템 51 4.2.3.3 프로그램 메니져(program manager) 시스템 및 OHT 시스템 52 4.2.4 프로토콜(Protocol) 설계 53 4.2.4.1 OCS 및 OHT 시스템 56 4.2.4.2 핸드-터미널(hand-terminal) 시스템 및 OHT 시스템 62 4.2.4.3 프로그램 메니져(program manager) 시스템 및 OHT 시스템 66 4.2.5 통신 구현 69 4.2.6 OHT 구동방식 상세설계 78 4.2.6.1 구동개념 설계 79 4.2.6.2 시스템 오류 처리기법 설계 81 4.2.6.3 주행부 구동방식 설계 82 4.2.6.4 승강부 구동방식 설계 86 4.2.6.5 횡행부 구동방식 설계 90 4.2.6.6 선회부 구동방식 설계 92 4.2.6.7 기타 구동부의 구동방식 설계 93 4.2.7 OHT 구동 구현 95 제 5장 실험 및 고찰 101 5.1 실험장치 101 5.2 시뮬레이션 실험 103 5.3 OHT 구동 실험 106 제 6장 결론 115 참고문헌 117 | - |
| dc.language | kor | - |
| dc.publisher | 한국해양대학교 대학원 | - |
| dc.title | 최적 경로선정 알고리즘 기반의 300mm WAFER 이송용 OVERHEAD HOIST TRANSPORT 최적 제어관리에 관한 연구 | - |
| dc.title.alternative | A Study on the Development of the Overhead Hoist Transport Control and Management for 3mm Wafer Transfer Based on the Optimal Flow Path Algorithm | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.date.awarded | 2004-02 | - |
| dc.contributor.alternativeName | Kim Hak-Sun | - |
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