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III-V 화합물 반도체 단결정 성장을 위한 수직형 LPE 장치의 제작
- Title
- III-V 화합물 반도체 단결정 성장을 위한 수직형 LPE 장치의 제작
- Alternative Title
- The Development of the Vertical Type LPE System for Single Crystal Growth of the III-V Compound Semiconductor
- Issued Date
- 1991
- Publisher
- 한국해양대학교 해사산업연구소
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