한국해양대학교

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경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작

Title
경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작
Author(s)
신도훈
Publication Year
2002
Publisher
한국해양대학교
URI
http://repository.kmou.ac.kr/handle/2014.oak/5260
Appears in Collections:
기타 > 논문집
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