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경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작
- Title
- 경사 대향 타겟식 마그네트론 스퍼터링법에 의한 저온 ITO박막의 제작
- Issued Date
- 2002
- Publisher
- 한국해양대학교
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