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산화된 다공질 실리콘 기관 위에 제작된 MMIC용 에어브리지형 Coplanar Waveguide
- Title
- 산화된 다공질 실리콘 기관 위에 제작된 MMIC용 에어브리지형 Coplanar Waveguide
- Alternative Title
- Air-Bridge Coplanar Waveguide Fabricated on Oxidized Porous Silicon Substrate for MMIC Applications
- Issued Date
- 2002
- Publisher
- 한국해양대학교 산업기술연구소
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